進口氦質譜檢漏儀應用廣泛,在檢漏作業中,根據不同產品對密封的要求多采用負壓法,正壓法和壓氦法三種檢漏方法。儀器具備檢測靈敏度高、反應速度快、定位定量準確等優點而被廣泛應用,但是在長時間的使用過程中常常會出現一些故障現象,從而影響設備的正常使用。那么我們怎么解決這寫故障呢?
一、進口氦質譜檢漏儀的故障和處理
1、內部的泄漏
當檢漏儀內部存在泄漏時,會對檢漏工作造成較大干擾,容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質譜室、離子源與質譜室、分子泵與質譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點,更換密封件。
2、本底信號不穩定
?、俦镜仔盘栠^高有可能是環境本底被污染,注意檢查室內是否有氦氣源在泄漏。將室內的門窗打開通風,降低環境本底。
?、诒镜仔盘栠^高也有可能是因為質譜室被污染。檢漏儀若經常檢測含有油污、粉塵等雜質較多的被檢件時,質譜室很容易被污染,需返廠進行清洗,本底信號不穩定,檢查電源電壓是否穩定,檢漏儀應有可靠的接地。
?、郾镜仔盘柌环€定,檢查泵油是否渾濁,被污染。
二、進口氦質譜檢漏儀的保養注意事項
1、如果儀器不是每天使用,建議每周開機檢查一下,使儀器高真空系統保持真空,縮短儀器使用時的開機時間
2、拆卸儀器部件(如離子源)后,安裝時要避免安裝部位出現泄漏,可用儀器進行自身檢漏。
3、適時對儀器可能出現的泄漏處(如放氣閥等)進行自身檢漏,發現漏點后要及時取下清洗或固緊,以免在檢漏時干擾檢漏工作。
4、檢漏儀維修每隔一段時間保養油泵。(散熱口灰塵處理,和泵油的檢查更換)
5、禁止任何外來物掉在或灑在檢漏儀上,尤其是進氣口中,由于氦檢漏儀為高精度儀器,其存放和使用環境要保持干凈、衛生。只有經過培訓或有資格的設備維護工程師,才能使用此儀器。
6、使用時,注意觀察進口氦質譜檢漏儀的運行情況,一旦發現問題(如較大振動、高噪音等),儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉中,若搬動檢漏儀,容易使分子泵內的葉片與轉子的筒體相碰撞。馬上切斷電源,并排除故障。